Fritz-Haber-Institut

Elektroniklabor

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Sputterkanonenversorgung


Bei diesem Gerät handelt es sich um eine Universalversorgungseinheit für eine Sputterkanone. Es besteht aus einer geregelten Filamentversorgung, deren Leistung durch Messung des Emissionsstromes des Filaments kontolliert und eingestellt wird. Die im "Ionengenerator" erzeugten Ionen werden in Richtung der Probe beschleunigt und können mit Hilfe der Focusspannung in ihrer Bahn beeinposmittigt werden.

Blockschaltbild: Sputterkanonenversorgung

Adresse: Fritz-Haber-Institut der Max-Planck-Gesellschaft, Faradayweg 4-6, 14195 Berlin, Germany
Elektroniklabor - Laborleiter Georg Heyne
Tel: +49 30 8413 3307, Fax: +49 30 8413 3301, E-Mail: ELAB@fhi-berlin.mpg.de